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自2021年底加拿大pc28预测推出海内首台HDPCVD到客户端,,现在已升级为新型六边形平台,,产品性能抵达业界领先水平,,坪效比业界第一。。。。依附研发实力和先进的设计理念获得客户赞誉和信任,,市场占有率一直攀升。。。。自首台完成验证后,,客户一连增添HDPCVD装备采购量,,阻止到现在反应腔累计装机量已凌驾70个,, 2024年底预计将突破100个。。。。
加拿大pc28预测的HDPCVD装备Hesper产品接纳六边形平台(TS-300S),,可搭配5个反应腔,,实现了高产能、高开机率、易维护和优异的薄膜填充能力。。。。同时具有Wafer剩余吸附力监测系统,,稳固的静电吸附力和自动控温模式等功效。。。。Hesper主要用于STI、ILD、IMD及Passivation等种种沟道介质填充。。。。

