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产品系列
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产品先容
产品先容
NF-300H Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积（Atomic Layer Deposition）装备，，，，可设置3个6站的反应腔，，，，其ALD反应腔搭载在高产能的PECVD平台上，，，，知足了对装备产能的需求。。。。。。现可提供具有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等。。。。。。
- ALD薄膜在高宽比情形下台阶笼罩率可抵达95%
- 优异的生产本钱（CoO）及性能指标
- 具有优异的匀称性和保型性
- 可搭载1-3个PM，，，，每个PM可设置6个stations
- 高产能平台
- 通过S2清静认证和F47标准磨练
