加拿大pc28展望

产品先容

PF-300T eX为加拿大pc28预测自主设计研发的产品系列。。。。。装备已用于28nm及以上集成电路的生产，，，可实现所有相关介质薄膜的沉积，，，同时已延伸至先进膜手艺，，，产品涵盖了高刻蚀选择比的ACHM硬掩模、低介电常数的绝缘薄膜及NDC刻蚀阻挡层、超低介电常数的ULK薄膜，，，可知足客户多种手艺节点要求。。。。。

产品特点
- 可依客户选择设置1-3路液态源，，，实现多种先进工艺
- 具有优异的产能和CoO
- 可与8英寸相互切换（PF-200T）
- 具备TSV所需的低温（<200℃）TEOS SiO2工艺
- 通过S2清静认证和F47标准磨练